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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質(zhì)量流量計故障處理方法

硬件故障若出現誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現象，其原因：

a.安裝不規范，可直接導致流量計零漂，如質(zhì)量流量計安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強度不夠，連接法蘭焊接不當產(chǎn)生應力信號，電纜受電磁干擾。

b.接線(xiàn)問(wèn)題若出現顯示器不亮現象，應檢查積算器電源連線(xiàn)，若出現保險絲被燒，應確認輸入電壓與標準電壓標稱(chēng)值，交直流形式是否一致。又若出現積算器不隨流量增加時(shí)，應檢查積算器接線(xiàn)，若積算器裝有正/反向程序，應檢查流量計接線(xiàn)，因流量計接線(xiàn)不正確，會(huì )使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測量介質(zhì)出現夾氣，氣化或兩相流等現象，變送器會(huì )出現報警顯示，嚴重時(shí)，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問(wèn)題。

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